Трихлорид бора (BCl3)— неорганическое соединение, широко используемое в процессах сухого травления и химического осаждения из газовой фазы (CVD) в производстве полупроводников. Это бесцветный газ с сильным резким запахом при комнатной температуре, чувствительный к влажному воздуху, поскольку он гидролизуется с образованием соляной и борной кислот.

Применение трихлорида бора

В полупроводниковой промышленности,Трихлорид бораВ основном используется для сухого травления алюминия и в качестве легирующей примеси для формирования областей P-типа на кремниевых пластинах. Его также можно использовать для травления таких материалов, как GaAs, Si, AlN, а также в качестве источника бора в некоторых специфических приложениях. Кроме того, трихлорид бора широко применяется в металлообработке, стекольной промышленности, химическом анализе и лабораторных исследованиях.

Безопасность трихлорида бора

Трихлорид бораОн едкий и токсичный, может вызвать серьёзное повреждение глаз и кожи. Он гидролизуется во влажном воздухе с выделением токсичного хлороводорода. Поэтому при работе с ним необходимо принимать соответствующие меры безопасности.Трихлорид бора, включая ношение защитной одежды, очков и средств защиты органов дыхания, а также работу в хорошо проветриваемом помещении.