Бор трихлорид (BCL3)является неорганическим соединением, обычно используемым в процессах сухого травления и химического отложения паров (CVD) в производстве полупроводников. Это бесцветный газ с сильным острым запахом при комнатной температуре и чувствителен к влажному воздуху, потому что он гидролизует для получения соляной кислоты и борной кислоты.

Применение бора трихлорида

В полупроводниковой промышленности,Бор трихлоридв основном используется для сухого травления алюминия и в качестве легирующей привязки для образования областей P-типа на кремниевых пластинах. Его также можно использовать для травления материалов, таких как GAAS, SI, ALN и в качестве источника бора в определенных конкретных приложениях. Кроме того, бор трихлорид широко используется в обработке металлов, стеклянной промышленности, химическом анализе и лабораторных исследованиях.

Безопасность бора трихлорида

Бор трихлоридявляется коррозионным и токсичным и может нанести серьезный повреждение глаз и кожи. Он гидролизует во влажном воздухе для высвобождения токсичного газа хлорида водорода. Следовательно, необходимо принять соответствующие меры безопасности при обработкеБор трихлорид, в том числе ношение защитной одежды, защитных очков и респираторного оборудования, а также работа в хорошо продуманной среде.