Трихлорид бора (BCl3)Это неорганическое соединение, широко используемое в процессах сухого травления и химического осаждения из газовой фазы (CVD) в полупроводниковом производстве. При комнатной температуре это бесцветный газ с сильным резким запахом, чувствительный к влажному воздуху, поскольку при гидролизе он образует соляную и борную кислоты.

Применение трихлорида бора

В полупроводниковой промышленности,Трихлорид бораВ основном используется для сухого травления алюминия и в качестве легирующей добавки для формирования P-типа областей на кремниевых пластинах. Также может применяться для травления таких материалов, как GaAs, Si, AlN, а также в качестве источника бора в некоторых специфических областях. Кроме того, трихлорид бора широко используется в металлообработке, стекольной промышленности, химическом анализе и лабораторных исследованиях.

Безопасность трихлорида бора

Трихлорид бораЭто вещество едкое и токсичное, способное нанести серьезный вред глазам и коже. Оно гидролизуется во влажном воздухе, выделяя токсичный хлористый водород. Поэтому при обращении с ним необходимо соблюдать соответствующие меры безопасности.Трихлорид боравключая ношение защитной одежды, защитных очков и средств защиты органов дыхания, а также работу в хорошо вентилируемом помещении.