Гексафторид серы представляет собой газ с отличными изоляционными свойствами и часто используется в высоковольтных дугогасительных устройствах и трансформаторах, высоковольтных линиях электропередачи, трансформаторах и т. д. Однако, помимо этих функций, гексафторид серы также может использоваться в качестве электронного травителя. . Гексафторид серы высокой чистоты электронного класса является идеальным электронным травителем, который широко используется в области микроэлектронных технологий. Сегодня специальный газовый редактор Ню Жуйдэ Юэюэ расскажет о применении гексафторида серы при травлении нитрида кремния и о влиянии различных параметров.
Мы обсуждаем процесс плазменного травления SiNx SF6, включая изменение мощности плазмы, газового соотношения SF6/He и добавление катионного газа O2, обсуждаем его влияние на скорость травления защитного слоя элемента SiNx TFT и использование плазменного излучения. Спектрометр анализирует изменения концентрации каждого вида в плазме SF6/He, SF6/He/O2 и скорость диссоциации SF6, а также исследует взаимосвязь между изменением SiNx скорость травления и концентрация частиц в плазме.
Исследования показали, что при увеличении мощности плазмы скорость травления увеличивается; при увеличении скорости потока SF6 в плазме концентрация атомов F увеличивается и положительно коррелирует со скоростью травления. Кроме того, после добавления катионного газа O2 при фиксированной общей скорости потока это приведет к увеличению скорости травления, но при различных соотношениях потоков O2/SF6 будут действовать разные механизмы реакции, которые можно разделить на три части. : (1) Соотношение потоков O2/SF6 очень мало, O2 может способствовать диссоциации SF6, а скорость травления в это время выше, чем без добавления O2. (2) Когда соотношение потоков O2/SF6 превышает 0,2 в интервале, приближающемся к 1, в это время из-за большой степени диссоциации SF6 с образованием атомов F скорость травления является самой высокой; но в то же время атомы O в плазме также увеличиваются. реакция травления. Поэтому скорость травления начинает замедляться, когда соотношение O2/SF6 приближается к 1. (3) Когда соотношение O2/SF6 больше 1, скорость травления снижается. Из-за большого увеличения O2 диссоциированные атомы F сталкиваются с O2 и образуют OF, что снижает концентрацию атомов F, что приводит к снижению скорости травления. Из этого видно, что при добавлении O2 соотношение потоков O2/SF6 составляет от 0,2 до 0,8, и может быть достигнута наилучшая скорость травления.
Время публикации: 06 декабря 2021 г.
