Гексафторид вольфрама (WF6) осаждается на поверхность подложки методом химического осаждения из газовой фазы (CVD), заполняя канавки металлических межсоединений и формируя металлические межслойные соединения.
Давайте сначала поговорим о плазме. Плазма — это форма материи, состоящая в основном из свободных электронов и заряженных ионов. Она широко распространена во Вселенной и часто рассматривается как четвёртое состояние материи. Её называют плазменным состоянием, или просто «плазмой». Плазма обладает высокой электропроводностью и имеет сильное взаимодействие с электромагнитным полем. Это частично ионизированный газ, состоящий из электронов, ионов, свободных радикалов, нейтральных частиц и фотонов. Сама плазма представляет собой электрически нейтральную смесь, содержащую физически и химически активные частицы.
Простое объяснение заключается в том, что под действием высокой энергии молекула преодолевает силы Ван дер Ваальса, силы химической связи и кулоновские силы, и в целом принимает форму нейтрального электричества. В то же время, высокая энергия, передаваемая извне, преодолевает эти три силы. Функциональные группы, электроны и ионы находятся в свободном состоянии, которое может быть искусственно использовано под воздействием модуляции магнитного поля, например, в процессах травления полупроводников, CVD-процессах, PVD-процессах и IMP-процессах.
Что такое высокая энергия? Теоретически, можно использовать как высокие температуры, так и высокочастотное радиочастотное излучение. В целом, достижение высокой температуры практически невозможно. Требование к температуре слишком велико и может быть близко к температуре Солнца. В технологическом процессе это практически невыполнимо. Поэтому в промышленности обычно используют высокочастотное радиочастотное излучение для достижения этой цели. В плазме радиочастотное излучение может достигать частоты 13 МГц и выше.
Гексафторид вольфрама плазмообразуется под действием электрического поля, а затем осаждается методом парофазного осаждения под действием магнитного поля. Атомы вольфрама похожи на перья зимнего гуся и падают на землю под действием силы тяжести. Медленно атомы вольфрама осаждаются в сквозные отверстия, и в конечном итоге заполняют их, образуя металлические межсоединения. Помимо осаждения атомов вольфрама в сквозные отверстия, будут ли они также осаждаться на поверхности пластины? Да, безусловно. В общем, можно использовать процесс W-CMP, который мы называем процессом механической шлифовки для удаления. Это похоже на использование метлы для подметания пола после сильного снегопада. Снег на земле сметается, но снег в отверстии на земле остается. Внизу примерно то же самое.
Дата публикации: 24 декабря 2021 г.
