Лазерный газ в основном используется для лазерного отжига и газа для литографии в электронной промышленности.Благодаря инновациям в экранах мобильных телефонов и расширению областей применения масштабы рынка низкотемпературного поликремния будут расширяться, а процесс лазерного отжига значительно улучшил характеристики TFT.Среди газов неона, фтора и аргона, используемых в эксимерном лазере ArF для производства полупроводников, неон составляет более 96% газовой смеси лазера.С усовершенствованием полупроводниковой технологии увеличилось использование эксимерных лазеров, а внедрение технологии двойной экспозиции привело к резкому увеличению спроса на неоновый газ, потребляемый эксимерными лазерами ArF.Благодаря продвижению локализации специальных газов для электроники отечественные производители получат больше возможностей для роста рынка в будущем.
Литографическая машина является основным оборудованием производства полупроводников.Литография определяет размер транзисторов.Скоординированное развитие отраслевой цепочки литографии является ключом к прорыву литографических машин.Соответствующие полупроводниковые материалы, такие как фоторезист, фотолитографический газ, фотомаска, а также оборудование для нанесения покрытий и проявки, имеют высокое технологическое содержание.Литографический газ - это газ, который литографическая машина генерирует лазером глубокого ультрафиолета.Различные литографические газы могут создавать источники света с различной длиной волны, и их длина волны напрямую влияет на разрешающую способность литографической машины, которая является одним из основных компонентов литографической машины.В 2020 году общие мировые продажи литографических машин составят 413 единиц, из которых 258 единиц ASML составляют 62%, продажи Canon 122 единицы составляют 30%, а продажи Nikon 33 единицы составляют 8%.
Время публикации: 15 октября 2021 г.
