В 2018 году мировой рынок электронных газов для интегрированных цепей достиг 4,512 млрд. Долл. США, что годовалось на 16%. Высокие темпы роста электронной специальной газовой промышленности для полупроводников и огромный размер рынка ускорили план на внутреннем замене электронного специального газа!
Что такое электронный газ?
Электронный газ относится к основному исходному материалу, используемому при производстве полупроводников, плоских панельных дисплеев, светодиодов, солнечных элементов и других электронных продуктов, и широко используется при очистке, травлениях, формировании пленки, легировании и других процессах. Основные области применения электронного газа включают в себя электронику, солнечные батареи, мобильные коммуникации, автомобильную навигацию и автомобильные аудиосистемы, аэрокосмические, военную промышленность и многие другие области.
Электронный специальный газ можно разделить на семь категорий в соответствии с его собственным химическим составом: кремний, мышьяк, фосфор, бор, гидрид металла, галогенид и металлический алкоксид. Согласно различным методам применения в интегрированных цепях, его можно разделить на легирующий газ, газ эпитаксии, ионный имплантационный газ, светоизлучающий диодный газ, газ травления, химический паров и баланс газа. В полупроводниковой промышленности используется более 110 единиц специальных газов, из которых обычно используются более 30.
Как правило, производственная промышленность полупроводников делит газы на два типа: обычные газы и специальные газы. Among them, the commonly used gas refers to a centralized supply and uses a lot of gas, such as N2, H2, O2, Ar, He, etc. Special gas refers to some chemical gases used in the process of semiconductor production, such as extension, ion injection, blending, washing, and mask formation, which is what we now call electronic special gas, such as high-purity SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 и т. Д.
Во всем производственном процессе полупроводниковой промышленности, от роста чипов до конечной упаковки устройства, почти каждая ссылка неразделима от электронного специального газа, а также разнообразие используемых газа и высококачественных требований, поэтому электронный газ имеет полупроводниковые материалы. "Еда".
В последние годы основные электронные компоненты Китая, такие как полупроводники и дисплеи, увеличились в новой производственной мощности, и существует высокий спрос на импорт электронных химических материалов. Положение электронных газов в полупроводниковой промышленности становится все более заметным. Внутренняя электронная газовая отрасль будет привлекать к быстрому росту.
Электронный специальный газ представляет очень высокие требования к чистоте, потому что, если чистота не соответствует требованиям, группы примесей, такие как водяной пара и кислород в электронном специальном газе, будут легко образовывать оксидную пленку на поверхности полупроводника, что влияет на срок службы электронных устройств, а нанесенные нанесенные нанесенные в цепь и сетки. Можно сказать, что улучшение чистоты играет жизненно важную роль в урожайности и производительности производства электронных устройств.
Благодаря непрерывному развитию полупроводниковой промышленности процесс изготовления чипов продолжает улучшаться, и теперь он достиг 5 нм, который собирается приблизиться к пределу закона Мура, который эквивалентен одному двадесятию диаметра человеческих волос (около 0,1 мм). Следовательно, это также выдвигает более высокие требования к чистоте электронного специального газа, производимого полупроводниками.
Время публикации: 15-2021 декабря
