В 2018 году мировой рынок электронного газа для интегральных схем достиг 4,512 млрд долларов США, увеличившись на 16% по сравнению с аналогичным периодом прошлого года. Высокие темпы роста отрасли электронного специального газа для полупроводников и огромный размер рынка ускорили реализацию плана внутреннего замещения электронного специального газа!
Что такое электронный газ?
Электронный газ относится к основному исходному материалу, используемому при производстве полупроводников, плоских дисплеев, светодиодов, солнечных элементов и других электронных продуктов, и широко используется при очистке, травлении, пленкообразовании, легировании и других процессах. Основные области применения электронного газа включают электронную промышленность, солнечные батареи, мобильную связь, автомобильную навигацию, автомобильные аудио- и видеосистемы, аэрокосмическую, военную промышленность и многие другие области.
Специальный электронный газ можно разделить на семь категорий в зависимости от его химического состава: кремний, мышьяк, фосфор, бор, гидрид металла, галогенид и алкоксид металла. В соответствии с различными методами применения в интегральных схемах его можно разделить на легирующий газ, газ для эпитаксии, газ для ионной имплантации, газ для светодиодов, травильный газ, газ для химического осаждения из паровой фазы и балансовый газ. В полупроводниковой промышленности используется более 110 единиц специальных газов, из которых более 30 широко используются.
Обычно в отрасли производства полупроводников газы делят на два типа: обычные газы и специальные газы. Среди них обычно используемый газ относится к централизованному снабжению и использует много газа, такого как N2, H2, O2, Ar, He и т. д. Специальный газ относится к некоторым химическим газам, используемым в процессе производства полупроводников, например расширение, инжекция ионов, смешивание, промывка и формирование маски, то, что мы теперь называем специальным электронным газом, таким как SiH4 высокой чистоты, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 и т. д.
Во всем производственном процессе полупроводниковой промышленности, от выращивания чипов до упаковки конечного устройства, почти каждое звено неотделимо от электронного специального газа, а также от разнообразия используемого газа и высоких требований к качеству, поэтому электронный газ имеет полупроводниковые материалы. "Еда".
В последние годы в Китае появились новые производственные мощности по производству основных электронных компонентов, таких как полупроводники и панели дисплеев, и существует высокий спрос на импортозамещение электронных химических материалов. Положение электронных газов в полупроводниковой промышленности становится все более заметным. Отечественная электронная газовая промышленность ознаменует быстрый рост.
Специальный электронный газ предъявляет очень высокие требования к чистоте, поскольку, если чистота не соответствует требованиям, группы примесей, такие как водяной пар и кислород, в специальном электронном газе легко образуют оксидную пленку на поверхности полупроводника, что влияет на срок службы электронных устройств, а специальный электронный газ содержит частицы примесей, которые могут вызвать короткое замыкание полупроводников и повреждение цепи. Можно сказать, что повышение чистоты играет жизненно важную роль в производительности и производительности производства электронных устройств.
С непрерывным развитием полупроводниковой промышленности процесс производства чипов продолжает совершенствоваться, и теперь он достиг 5 нм, что вот-вот приблизится к пределу закона Мура, который эквивалентен одной двадцатой диаметра человеческого волоса ( около 0,1 мм). Следовательно, это также выдвигает более высокие требования к чистоте электронного специального газа, вырабатываемого полупроводниками.
Время публикации: 15 декабря 2021 г.
