В 2018 году мировой рынок электронного газа для интегральных схем достиг 4,512 млрд долларов США, увеличившись по сравнению с прошлым годом на 16%.Высокие темпы роста электронной специальной газовой промышленности для полупроводников и огромный размер рынка ускорили внутренний план замены электронного специального газа!
Что такое электронный газ?
Электронный газ относится к основному исходному материалу, используемому в производстве полупроводников, плоских дисплеев, светодиодов, солнечных элементов и других электронных продуктов, и широко используется в процессах очистки, травления, пленкообразования, легирования и других процессах.Основные области применения электронного газа включают электронную промышленность, солнечные батареи, мобильную связь, автомобильную навигацию и автомобильные аудио- и видеосистемы, аэрокосмическую, военную промышленность и многие другие области.
Электронный специальный газ можно разделить на семь категорий в зависимости от его собственного химического состава: кремний, мышьяк, фосфор, бор, гидрид металла, галогенид и алкоксид металла.В соответствии с различными методами применения в интегральных схемах его можно разделить на легирующий газ, газ для эпитаксии, газ для ионной имплантации, газ для светодиодов, газ для травления, газ для химического осаждения из паровой фазы и уравновешивающий газ.В полупроводниковой промышленности используется более 110 специальных газов, из которых более 30 широко используются.
Как правило, в полупроводниковой промышленности газы подразделяются на два типа: обычные газы и специальные газы.Среди них обычно используемый газ относится к централизованной подаче и использует много газа, такого как N2, H2, O2, Ar, He и т. д. Специальный газ относится к некоторым химическим газам, используемым в процессе производства полупроводников, таким как расширение, инжекция ионов, смешивание, промывка и формирование маски, что мы теперь называем электронным специальным газом, таким как высокочистый SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 и т. д.
Во всем производственном процессе полупроводниковой промышленности, от выращивания микросхем до упаковки конечного устройства, почти каждое звено неотделимо от электронного специального газа, разнообразия используемого газа и высоких требований к качеству, поэтому электронный газ имеет полупроводниковые материалы."Еда".
В последние годы основные электронные компоненты Китая, такие как полупроводники и дисплейные панели, увеличили новые производственные мощности, и существует большой спрос на импортозамещение электронных химических материалов.Положение электронных газов в полупроводниковой промышленности становится все более заметным.Отечественная электронная газовая промышленность откроет быстрый рост.
Электронный специальный газ предъявляет очень высокие требования к чистоте, потому что, если чистота не соответствует требованиям, примесные группы, такие как водяной пар и кислород в электронном специальном газе, легко образуют оксидную пленку на поверхности полупроводника, что влияет на срок службы электронных устройств, а электронный специальный газ содержит частицы примесей, которые могут вызвать короткое замыкание полупроводника и повреждение цепи.Можно сказать, что повышение чистоты играет жизненно важную роль в производительности и производительности производства электронных устройств.
С непрерывным развитием полупроводниковой промышленности процесс производства микросхем продолжает совершенствоваться, и теперь он достиг 5 нм, что приближается к пределу закона Мура, что эквивалентно одной двадцатой диаметра человеческого волоса ( около 0,1 мм).Следовательно, это также выдвигает более высокие требования к чистоте электронного спецгаза, производимого полупроводниками.
Время публикации: 15 декабря 2021 г.
