К обычным фторсодержащим специальным электронным газам относятсягексафторид серы (SF6), гексафторид вольфрама (WF6),тетрафторид углерода (CF4), трифторметан (CHF3), трифторид азота (NF3), гексафторэтан (C2F6) и октафторпропан (C3F8).
С развитием нанотехнологий и масштабным развитием электронной промышленности спрос на нее будет увеличиваться с каждым днем. Трифторид азота, как незаменимый и наиболее часто используемый специальный электронный газ при производстве и обработке панелей и полупроводников, имеет широкое рыночное пространство.
Являясь разновидностью специального фторсодержащего газа,трифторид азота (NF3)это электронный специальный газовый продукт с наибольшей емкостью рынка. Он химически инертен при комнатной температуре, более активен, чем кислород при высокой температуре, более стабилен, чем фтор, и прост в обращении. Трифторид азота в основном используется в качестве газа плазменного травления и средства для очистки реакционной камеры и подходит для производства полупроводниковых чипов, плоских дисплеев, оптических волокон, фотоэлектрических элементов и т. д.
По сравнению с другими фторсодержащими электронными газами,трифторид азотаимеет преимущества быстрой реакции и высокой эффективности. Особенно при травлении кремнийсодержащих материалов, таких как нитрид кремния, он имеет высокую скорость и селективность травления, не оставляя следов на поверхности протравленного объекта. Это также очень хорошее чистящее средство, не загрязняющее поверхность, что позволяет удовлетворить потребности процесса обработки.
Время публикации: 14 сентября 2024 г.
