К распространенным специальным электронным газам, содержащим фтор, относятся:гексафторид серы (SF6), гексафторид вольфрама (WF6),тетрафторид углерода (CF4)трифторметан (CHF3), трифторид азота (NF3), гексафторэтан (C2F6) и октафторпропан (C3F8).
С развитием нанотехнологий и масштабным развитием электронной промышленности спрос на него будет расти с каждым днем. Трифторид азота, как незаменимый и наиболее широко используемый специальный электронный газ в производстве и обработке панелей и полупроводников, имеет широкий рыночный потенциал.
Это особый фторсодержащий газ.трифторид азота (NF3)Трифторид азота — это наиболее распространенный на рынке специальный газовый продукт для электроники. Он химически инертен при комнатной температуре, более активен, чем кислород, при высоких температурах, более стабилен, чем фтор, и прост в обращении. Трифторид азота в основном используется в качестве газа для плазменного травления и очистителя реакционных камер, а также подходит для производства полупроводниковых чипов, плоских дисплеев, оптических волокон, фотоэлектрических элементов и т. д.
По сравнению с другими фторсодержащими электронными газами,трифторид азотаОбладает преимуществами быстрой реакции и высокой эффективности. Особенно при травлении кремнийсодержащих материалов, таких как нитрид кремния, он демонстрирует высокую скорость травления и селективность, не оставляя следов на поверхности травленого объекта. Он также является очень хорошим очищающим средством и не загрязняет поверхность, что соответствует требованиям технологического процесса.
Дата публикации: 14 сентября 2024 г.
