Общие фторсодержащие специальные электронные газы включаютсера гексафторид (SF6), вольфрамовый гексафторид (WF6),Углеродный тетрафлюрид (CF4), трифторметан (CHF3), трифторид азота (NF3), гексафторуэтан (C2F6) и октафторпропан (C3F8).
С развитием нанотехнологий и крупномасштабного развития электроники, ее спрос будет расти изо дня в день. Азотный трифторид, как незаменимый и крупнейший специальный электронный газ в производстве и переработке панелей и полупроводников, имеет широкое рыночное пространство.
Как тип специального газа, содержащего фтор,азотный трифторид (NF3)является электронным специальным газовым продуктом с наибольшей рыночной мощностью. Он химически инертный при комнатной температуре, более активен, чем кислород при высокой температуре, более стабильный, чем фторин и легко обрабатываюсь. Трифторид азота в основном используется в качестве плазменного травления газа и очищающего средства реакционной камеры и подходит для производственных полей полупроводниковых чипов, плоских панелей, оптических волокон, фотоэлектрических ячеек и т. Д.
По сравнению с другими электронными газами, содержащими фтор,азотный трифторидимеет преимущества быстрой реакции и высокой эффективности. Особенно при травлении материалов, содержащих кремния, таких как нитрид кремния, он имеет высокую скорость травления и селективность, не оставляя остатков на поверхности травления. Это также очень хороший чистящий агент и не имеет загрязнения на поверхности, что может удовлетворить потребности процесса обработки.
Время сообщения: сентябрь-14-2024
