К распространенным фторсодержащим специальным электронным газам относятся:гексафторид серы (SF6), гексафторид вольфрама (WF6),четырехфтористый углерод (CF4), трифторметан (CHF3), трифторид азота (NF3), гексафторэтан (C2F6) и октафторпропан (C3F8).
С развитием нанотехнологий и масштабным развитием электронной промышленности спрос на него будет расти с каждым днём. Трифторид азота, как незаменимый и наиболее широко используемый специальный электронный газ при производстве и обработке панелей и полупроводников, занимает обширное рыночное пространство.
Как тип специального фторсодержащего газа,трифторид азота (NF3)— это специальный газ для электроники, имеющий наибольшую рыночную емкость. Он химически инертен при комнатной температуре, более активен, чем кислород, при высоких температурах, более стабилен, чем фтор, и прост в обращении. Трифторид азота в основном используется в качестве газа для плазменного травления и средства для очистки реакционных камер, а также подходит для производства полупроводниковых кристаллов, плоских дисплеев, оптических волокон, фотоэлектрических преобразователей и т. д.
По сравнению с другими фторсодержащими электронными газами,трифторид азотаОбладает преимуществами быстрой реакции и высокой эффективности. Особенно при травлении кремнийсодержащих материалов, таких как нитрид кремния, он обладает высокой скоростью и селективностью травления, не оставляя следов на поверхности протравленного объекта. Кроме того, он является отличным очищающим средством и не загрязняет поверхность, что соответствует требованиям процесса обработки.
Время публикации: 14 сентября 2024 г.
