Спецификация | 99,999% |
Кислород+Аргон | ≤1ppm |
Азот | ≤4 частей на миллион |
Влага (H2O) | ≤3 частей на миллион |
HF | ≤0,1 ч/млн |
CO | ≤0,1 ч/млн |
СО2 | ≤1 ч/млн |
SF6 | ≤1 ч/млн |
Галокарбины | ≤1 ч/млн |
Всего примесей | ≤10 частей на миллион |
Четырехфтористый углерод представляет собой галогенированный углеводород с химической формулой CF4.Его можно рассматривать как галогенированный углеводород, галогенированный метан, перфторуглерод или неорганическое соединение.Четырехфтористый углерод — бесцветный газ без запаха, нерастворимый в воде, растворимый в бензоле и хлороформе.Стабильный при нормальной температуре и давлении, избегайте сильных окислителей, легковоспламеняющихся или горючих материалов.Негорючий газ, внутреннее давление контейнера будет увеличиваться при воздействии высокой температуры, и существует опасность растрескивания и взрыва.Он химически стабилен и негорюч.Только жидкий аммиачно-металлический реагент натрия может работать при комнатной температуре.Четырехфтористый углерод — газ, вызывающий парниковый эффект.Он очень стабилен, может оставаться в атмосфере в течение длительного времени и является очень сильным парниковым газом.Тетрафторуглерод используется в процессе плазменного травления различных интегральных схем.Он также используется в качестве лазерного газа и используется в низкотемпературных хладагентах, растворителях, смазочных материалах, изоляционных материалах и охлаждающих жидкостях для инфракрасных детекторов.Это наиболее часто используемый газ для плазменного травления в микроэлектронной промышленности.Это смесь газа высокой чистоты тетрафторметана и газа высокой чистоты тетрафторметана и кислорода высокой чистоты.Его можно широко использовать в кремнии, диоксиде кремния, нитриде кремния и фосфосиликатном стекле.Травление тонкопленочных материалов, таких как вольфрам и вольфрам, также широко используется при очистке поверхностей электронных устройств, производстве солнечных элементов, лазерных технологиях, низкотемпературном охлаждении, контроле утечек и моющих средств при производстве печатных плат.Используется в качестве низкотемпературного хладагента и технологии плазменного сухого травления для интегральных схем.Меры предосторожности при хранении: Хранить в прохладном вентилируемом складе негорючего газа.Хранить вдали от огня и источников тепла.Температура хранения не должна превышать 30°C.Хранить его следует отдельно от легко (горючих) горючих веществ и окислителей и избегать смешанного хранения.Зона хранения должна быть оборудована оборудованием для экстренной обработки утечек.
① Хладагент:
Тетрафторметан иногда используется в качестве низкотемпературного хладагента.
② Травление:
Он используется в микропроизводстве электроники отдельно или в сочетании с кислородом в качестве плазменного травителя для кремния, диоксида кремния и нитрида кремния.
Продукт | Тетрафторид углеродаCF4 | ||
Размер посылки | 40-литровый цилиндр | 50-литровый цилиндр | |
Вес нетто наполнения/цил. | 30 кг | 38 кг | |
Кол-во загружено в 20-футовом контейнере | 250 цилиндров | 250 цилиндров | |
Общий вес нетто | 7,5 тонн | 9,5 тонн | |
Собственный вес цилиндра | 50 кг | 55 кг | |
Клапан | СГА 580 |
①Высокая чистота, новейшее оборудование;
②Производитель сертификата ISO;
③Быстрая доставка;
④Система онлайн-анализа для контроля качества на каждом этапе;
⑤Высокие требования и тщательный процесс обработки баллона перед наполнением;