Компонент | 99,9999% | Единица |
Кислород (Ар) | ≤0,1 | ppmV |
Азот | ≤0,1 | ppmV |
Водород | ≤20 | ppmV |
гелий | ≤10 | ppmV |
СО+СО2 | ≤0,1 | ppmV |
ТГК | ≤0,1 | ppmV |
Хлорсиланы | ≤0,1 | ppmV |
Дисилоксан | ≤0,1 | ppmV |
Дисилан | ≤0,1 | ppmV |
Влага (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Силан представляет собой соединение кремния и водорода.Это общий термин для ряда соединений, включая моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) и некоторые кремний-водородные соединения более высокого уровня.Среди них наиболее распространенным является моносилан, который иногда для краткости называют силаном.Силан — бесцветный газ с отвратительным запахом чеснока.Растворим в воде, почти нерастворим в этаноле, эфире, бензоле, хлороформе, хлороформе кремния и тетрахлориде кремния.По химическим свойствам силаны значительно активнее алканов и легко окисляются.Самовозгорание может произойти при контакте с воздухом.Не реагирует с азотом при температуре ниже 25°C и не реагирует с углеводородными соединениями при комнатной температуре.Пожар и взрыв силана являются результатом реакции с кислородом.Силан чрезвычайно чувствителен к кислороду и воздуху.Силан определенной концентрации также будет взрывоопасно реагировать с кислородом при температуре -180°С.Силан стал наиболее важным специальным газом, используемым в процессах полупроводниковой микроэлектроники, и используется при приготовлении различных микроэлектронных пленок, включая монокристаллические пленки, микрокристаллические, поликристаллические, оксид кремния, нитрид кремния и силициды металлов.Применение силана в микроэлектронике все еще активно развивается: низкотемпературная эпитаксия, селективная эпитаксия и гетероэпитаксиальная эпитаксия.Не только для кремниевых приборов и кремниевых интегральных схем, но и для составных полупроводниковых приборов (арсенид галлия, карбид кремния и др.).Он также находит применение в приготовлении сверхрешетчатых материалов с квантовыми ямами.Можно сказать, что силан используется почти во всех передовых линиях по производству интегральных схем в наше время.Применение силана в качестве кремнийсодержащей пленки и покрытия расширилось от традиционной микроэлектронной промышленности до различных областей, таких как сталь, машиностроение, химия и оптика.Еще одним потенциальным применением силана является производство высокопроизводительных керамических деталей двигателя, особенно использование силана для производства силицидных (Si3N4, SiC и т. д.) технологий микропорошков привлекает все больше и больше внимания.
① Электронный:
Силан наносится на слои поликристаллического кремния на кремниевых пластинах при производстве полупроводников и герметиков.
②Солнечная:
Силан используется в производстве солнечных фотоэлектрических модулей.
③Промышленный:
Он используется в энергосберегающем зеленом стекле и применяется для тонкопленочного процесса осаждения из паровой фазы.
Продукт | Силан SiH4 жидкий | |
Размер посылки | 47-литровый цилиндр | Y-440L |
Вес нетто наполнения/цил. | 10 кг | 125 кг |
Кол-во загружено в 20-футовом контейнере | 250 цилиндров | 8 цилиндров |
Общий вес нетто | 2,5 тонны | 1 тонна |
Собственный вес цилиндра | 52 кг | 680 кг |
Клапан | CGA632/DISS632 |
①Более десяти лет на рынке;
②Производитель сертификата ISO;
③Быстрая доставка;
④Стабильный источник сырья;
⑤ Система онлайн-анализа для контроля качества на каждом этапе;
⑥Высокие требования и тщательный процесс обработки баллона перед наполнением;
⑦Чистота: электронный класс высокой чистоты;
⑧Использование: материалы для солнечных батарей;производство поликремния высокой чистоты, оксида кремния и оптического волокна;производство цветного стекла.