Силан (SiH4)

Краткое описание:

Силан SiH4 представляет собой бесцветный, токсичный и очень активный сжатый газ при нормальной температуре и давлении.Силан широко используется для эпитаксиального выращивания кремния, сырья для поликремния, оксида кремния, нитрида кремния и т. д., солнечных элементов, оптических волокон, производства цветного стекла и химического осаждения из паровой фазы.


Информация о продукте

Теги продукта

Технические параметры

Компонент

99,9999%

Единица

Кислород (Ар)

≤0,1

ppmV

Азот

≤0,1

ppmV

Водород

≤20

ppmV

гелий

≤10

ppmV

СО+СО2

≤0,1

ppmV

ТГК

≤0,1

ppmV

Хлорсиланы

≤0,1

ppmV

Дисилоксан

≤0,1

ppmV

Дисилан

≤0,1

ppmV

Влага (H2O)

≤0,1

ppmV

Силан представляет собой соединение кремния и водорода.Это общий термин для ряда соединений, включая моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) и некоторые кремний-водородные соединения более высокого уровня.Среди них наиболее распространенным является моносилан, который иногда для краткости называют силаном.Силан — бесцветный газ с отвратительным запахом чеснока.Растворим в воде, почти нерастворим в этаноле, эфире, бензоле, хлороформе, хлороформе кремния и тетрахлориде кремния.По химическим свойствам силаны значительно активнее алканов и легко окисляются.Самовозгорание может произойти при контакте с воздухом.Не реагирует с азотом при температуре ниже 25°C и не реагирует с углеводородными соединениями при комнатной температуре.Пожар и взрыв силана являются результатом реакции с кислородом.Силан чрезвычайно чувствителен к кислороду и воздуху.Силан определенной концентрации также будет взрывоопасно реагировать с кислородом при температуре -180°С.Силан стал наиболее важным специальным газом, используемым в процессах полупроводниковой микроэлектроники, и используется при приготовлении различных микроэлектронных пленок, включая монокристаллические пленки, микрокристаллические, поликристаллические, оксид кремния, нитрид кремния и силициды металлов.Применение силана в микроэлектронике все еще активно развивается: низкотемпературная эпитаксия, селективная эпитаксия и гетероэпитаксиальная эпитаксия.Не только для кремниевых приборов и кремниевых интегральных схем, но и для составных полупроводниковых приборов (арсенид галлия, карбид кремния и др.).Он также находит применение в приготовлении сверхрешетчатых материалов с квантовыми ямами.Можно сказать, что силан используется почти во всех передовых линиях по производству интегральных схем в наше время.Применение силана в качестве кремнийсодержащей пленки и покрытия расширилось от традиционной микроэлектронной промышленности до различных областей, таких как сталь, машиностроение, химия и оптика.Еще одним потенциальным применением силана является производство высокопроизводительных керамических деталей двигателя, особенно использование силана для производства силицидных (Si3N4, SiC и т. д.) технологий микропорошков привлекает все больше и больше внимания.

Приложение:

① Электронный:

Силан наносится на слои поликристаллического кремния на кремниевых пластинах при производстве полупроводников и герметиков.

 Джхью хрхтех

②Солнечная:

Силан используется в производстве солнечных фотоэлектрических модулей.

 сэр jyrsjjyrs

③Промышленный:

Он используется в энергосберегающем зеленом стекле и применяется для тонкопленочного процесса осаждения из паровой фазы.

 jmntyuj Юрьегр

Обычный пакет:

Продукт

Силан SiH4 жидкий

Размер посылки

47-литровый цилиндр

Y-440L

Вес нетто наполнения/цил.

10 кг

125 кг

Кол-во загружено в 20-футовом контейнере

250 цилиндров

8 цилиндров

Общий вес нетто

2,5 тонны

1 тонна

Собственный вес цилиндра

52 кг

680 кг

Клапан

CGA632/DISS632

Преимущество:

①Более десяти лет на рынке;

②Производитель сертификата ISO;

③Быстрая доставка;

④Стабильный источник сырья;

⑤ Система онлайн-анализа для контроля качества на каждом этапе;

⑥Высокие требования и тщательный процесс обработки баллона перед наполнением;

⑦Чистота: электронный класс высокой чистоты;

⑧Использование: материалы для солнечных батарей;производство поликремния высокой чистоты, оксида кремния и оптического волокна;производство цветного стекла.


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Напишите свое сообщение здесь и отправьте его нам