Электронныйспециальные газыОни представляют собой важную отрасль специальных газов. Они проникают практически во все звенья полупроводникового производства и являются незаменимым сырьем для производства электронных изделий, таких как сверхбольшие интегральные схемы, плоские дисплеи и солнечные батареи.

В полупроводниковой технологии фторсодержащие газы широко используются. В настоящее время на мировом рынке электронных газов на них приходится около 30% от общего объема. Фторсодержащие электронные газы являются важным компонентом специальных электронных газов в области электронных информационных материалов. Они в основном используются в качестве чистящих и травильных агентов, а также могут применяться в качестве легирующих добавок, пленкообразующих материалов и т. д. В этой статье автор расскажет вам о наиболее распространенных фторсодержащих газах.

Ниже перечислены часто используемые фторсодержащие газы.

Трифторид азота (NF3): газ, используемый для очистки и удаления отложений, обычно применяемый для очистки реакционных камер и поверхностей оборудования.

Гексафторид серы (SF6)Фторирующий агент, используемый в процессах осаждения оксидов, а также в качестве изоляционного газа для заполнения изоляционных сред.

Фторид водорода (HF): используется для удаления оксидов с поверхности кремния, а также в качестве травителя для травления кремния и других материалов.

Фторид азота (NF): используется для травления таких материалов, как нитрид кремния (SiN) и нитрид алюминия (AlN).

Трифторметан (CHF3) итетрафторметан (CF4)Используется для травления фторидных материалов, таких как фторид кремния и фторид алюминия.

Однако фторсодержащие газы представляют определенную опасность, включая токсичность, коррозионную активность и воспламеняемость.

Токсичность

Некоторые фторсодержащие газы токсичны, например, фтороводород (HF), пары которого сильно раздражают кожу и дыхательные пути и вредны для здоровья человека.

Коррозионная активность

Фторид водорода и некоторые фториды обладают высокой коррозионной активностью и могут нанести серьезный вред коже, глазам и дыхательным путям.

Воспламеняемость

Некоторые фториды легковоспламеняемы и вступают в реакцию с кислородом или водой в воздухе, выделяя сильное тепло и токсичные газы, что может привести к пожару или взрыву.

Опасность высокого давления

Некоторые фторированные газы взрывоопасны при высоком давлении и требуют особой осторожности при использовании и хранении.

Воздействие на окружающую среду

Фторсодержащие газы имеют длительное время жизни в атмосфере и высокие значения потенциала глобального потепления, что оказывает разрушительное воздействие на озоновый слой атмосферы и может вызывать глобальное потепление и загрязнение окружающей среды.

Применение газов в таких новых областях, как электроника, продолжает расширяться, что приводит к значительному росту спроса на промышленные газы. Учитывая значительные новые производственные мощности по выпуску основных электронных компонентов, таких как полупроводники и дисплейные панели, в материковом Китае в ближайшие несколько лет, а также высокий спрос на импортозамещение химических материалов для электроники, отечественная индустрия электронных газов ожидает высокий темп роста.