Электронныйспециальные газыЯвляются важной отраслью специальных газов. Они проникают практически во все этапы производства полупроводников и являются незаменимым сырьем для электронной промышленности, такой как производство сверхбольших интегральных схем, плоских дисплеев и солнечных элементов.

В полупроводниковой технике широко используются фторсодержащие газы. В настоящее время на мировом рынке электронных газов доля фторсодержащих газов составляет около 30%. Фторсодержащие газы являются важным компонентом специальных электронных газов в области электронных информационных материалов. Они используются в основном в качестве очищающих средств и травителей, а также могут использоваться в качестве легирующих добавок, пленкообразующих материалов и т.д. В данной статье автор расскажет о распространённых фторсодержащих газах.

Ниже перечислены наиболее часто используемые фторсодержащие газы.

Трифторид азота (NF3): газ, используемый для очистки и удаления отложений, обычно применяется для очистки реакционных камер и поверхностей оборудования.

Гексафторид серы (SF6): Фторирующий агент, используемый в процессах осаждения оксидов и в качестве изолирующего газа для заполнения изолирующих сред.

Фтористый водород (HF): используется для удаления оксидов с поверхности кремния и в качестве травителя для травления кремния и других материалов.

Фторид азота (NF): используется для травления таких материалов, как нитрид кремния (SiN) и нитрид алюминия (AlN).

Трифторметан (CHF3) итетрафторметан (CF4): Используется для травления фтористых материалов, таких как фторид кремния и фторид алюминия.

Однако фторсодержащие газы представляют определенную опасность, включая токсичность, коррозионность и воспламеняемость.

Токсичность

Некоторые фторсодержащие газы токсичны, например, фтористый водород (HF), пары которого оказывают сильное раздражающее действие на кожу и дыхательные пути и вредны для здоровья человека.

Коррозионная активность

Фтористый водород и некоторые фториды обладают высокой едкостью и могут вызвать серьезное повреждение кожи, глаз и дыхательных путей.

Воспламеняемость

Некоторые фториды огнеопасны и вступают в реакцию с кислородом или водой воздуха, выделяя сильное тепло и токсичные газы, что может привести к пожару или взрыву.

Опасность высокого давления

Некоторые фторированные газы взрывоопасны под высоким давлением и требуют особой осторожности при использовании и хранении.

Воздействие на окружающую среду

Фторсодержащие газы имеют большую продолжительность жизни в атмосфере и высокие значения ПГП, оказывают разрушительное воздействие на озоновый слой атмосферы и могут вызывать глобальное потепление и загрязнение окружающей среды.

Применение газов в таких развивающихся областях, как электроника, продолжает расширяться, что обуславливает значительный рост спроса на промышленные газы. В связи с вводом в эксплуатацию в ближайшие годы в материковом Китае крупных производственных мощностей по производству основных электронных компонентов, таких как полупроводники и дисплейные панели, а также высоким спросом на импортозамещение химических материалов для электронной промышленности, отечественная отрасль газовой промышленности для электронной промышленности продемонстрирует высокие темпы роста.