ЭлектронныйСпециальные газыявляются важной ветвью специальных газов. Они проникают практически на каждую связь производства полупроводников и являются незаменимым сырью для производства электронных отраслей, таких как интегрированные схемы с сверхуровневым масштабом, устройства для дисплея с плоскими панелями и солнечные элементы.

В полупроводниковых технологиях широко используются газы, содержащие фторин. В настоящее время на мировом рынке электронных газов электронные газы составляют около 30% от общего числа. Электронные газы, содержащие фторин, являются важным компонентом специальных электронных газов в области электронных информационных материалов. Они в основном используются в качестве чистящих средств и травлений, а также могут использоваться в качестве легирующих приставок, пленочных материалов и т. Д. В этой статье автор примет вас, чтобы понять общие газы, содержащие фтор.

Следующие обычно используются газы, содержащие фтор

Азотный трифторид (NF3): газ, используемый для очистки и удаления отложений, обычно используемых для очистки реакционных камер и поверхностей оборудования.

Сера гексафторид (SF6): Флурирующий агент, используемый в процессах оксида, и в качестве изоляционного газа для заполнения изоляционных сред.

Фторид водорода (HF): используется для удаления оксидов с кремниевой поверхности и в качестве травления для травления кремния и других материалов.

Азотный фторид (NF): используется для травления, таких как нитрид кремния (SIN) и алюминиевый нитрид (ALN).

Трифторметан (Chf3) итетрафторметан (CF4): Используется для травления фторида, таких как кремниевый фторид и алюминиевый фторид.

Тем не менее, фториносодержащие газы имеют определенные опасности, включая токсичность, коррозию и воспламеняемость.

Токсичность

Некоторые фториносодержащие газы токсичны, такие как фторид водорода (HF), пары которых сильно раздражают кожу и дыхательные тракты и вредны для здоровья человека.

Коррозионность

Фторид водорода и некоторые фториды сильно коррозийны и могут вызвать серьезное повреждение кожи, глаз и дыхательных путей.

Воспламеняемость

Некоторые фториды воспламеняются и реагируют с кислородом или водой в воздухе, чтобы высвободить интенсивные тепло и токсичные газы, что может вызвать огонь или взрыв.

Опасность высокого давления

Некоторые фторированные газы взрывоопасны под высоким давлением и требуют особого ухода при использовании и хранении.

Влияние на окружающую среду

Газы, содержащие фторину, имеют высокие сроки атмосферы и значения GWP, которые оказывают разрушительное влияние на атмосферный озоновый слой и могут вызвать глобальное потепление и загрязнение окружающей среды.

Применение газов в развивающихся областях, таких как электроника, продолжает углубляться, обеспечивая большой объем нового спроса на промышленные газы. Основываясь на большом количестве новых производственных мощностей крупных электронных компонентов, таких как полупроводники и отображающие панели в материковом Китае в ближайшие несколько лет, а также высокий спрос на импорт электронных химических материалов, внутренняя электронная газовая промышленность приведет к высоким темпам роста.