Электронныйспециальные газыявляются важной отраслью специальных газов. Они проникают практически во все звенья полупроводникового производства и являются незаменимым сырьем для производства изделий электронной промышленности, таких как сверхбольшие интегральные схемы, плоскопанельные дисплеи, солнечные элементы.

В полупроводниковой технике широко используются фторсодержащие газы. В настоящее время на мировом рынке электронных газов фторсодержащие электронные газы составляют около 30% от общего количества. Фторсодержащие электронные газы являются важным компонентом специальных электронных газов в области электронных информационных материалов. В основном они используются в качестве чистящих и травильных средств, а также могут использоваться в качестве легирующих добавок, пленкообразующих материалов и т. д. В этой статье автор познакомит вас с распространенными фторсодержащими газами.

Ниже приведены широко используемые фторсодержащие газы.

Трифторид азота (NF3): газ, используемый для очистки и удаления отложений, обычно используемый для очистки реакционных камер и поверхностей оборудования.

Гексафторид серы (SF6): Фторирующий агент, используемый в процессах осаждения оксидов и в качестве изолирующего газа для заполнения изолирующих материалов.

Фтороводород (HF): используется для удаления оксидов с поверхности кремния и в качестве травителя при травлении кремния и других материалов.

Фторид азота (NF): используется для травления таких материалов, как нитрид кремния (SiN) и нитрид алюминия (AlN).

Трифторметан (CHF3) итетрафторметан (CF4): Используется для травления фторидных материалов, таких как фторид кремния и фторид алюминия.

Однако фторсодержащие газы имеют определенные опасности, в том числе токсичность, коррозионную активность и воспламеняемость.

Токсичность

Некоторые фторсодержащие газы токсичны, например фтороводород (HF), пары которого сильно раздражают кожу и дыхательные пути и вредны для здоровья человека.

Коррозионная активность

Фтороводород и некоторые фториды обладают высокой коррозионной активностью и могут вызвать серьезные повреждения кожи, глаз и дыхательных путей.

Воспламеняемость

Некоторые фториды огнеопасны и реагируют с кислородом или водой в воздухе с выделением сильного тепла и токсичных газов, что может вызвать пожар или взрыв.

Опасность высокого давления

Некоторые фторированные газы взрывоопасны под высоким давлением и требуют особой осторожности при использовании и хранении.

Влияние на окружающую среду

Фторсодержащие газы имеют высокие значения времени жизни в атмосфере и значения ПГП, что оказывает разрушительное воздействие на озоновый слой атмосферы и может вызвать глобальное потепление и загрязнение окружающей среды.

Применение газов в новых областях, таких как электроника, продолжает углубляться, вызывая большой новый спрос на промышленные газы. Учитывая большие объемы новых производственных мощностей по производству основных электронных компонентов, таких как полупроводники и панели дисплеев, в материковом Китае в ближайшие несколько лет, а также высокий спрос на импортозамещение электронных химических материалов, отечественная электронная газовая промышленность ознаменует начало развития высокий темп роста.