Что такоечетырехфтористый углерод? Какая польза?
Четырехфтористый углеродТетрафторметан, также известный как тетрафторметан, считается неорганическим соединением. Он используется в процессе плазменного травления различных интегральных схем, а также в качестве лазерного газа и хладагента. Он относительно стабилен при нормальной температуре и давлении, но его необходимо избегать контакта с сильными окислителями, легковоспламеняющимися или горючими материалами. Четырехфтористый углерод — негорючий газ. При сильном нагревании он вызывает повышение внутреннего давления в контейнере, что может привести к растрескиванию и взрыву. Обычно он взаимодействует только с жидким реагентом аммиак-натрий при комнатной температуре.
Четырехфтористый углеродВ настоящее время это самый распространенный газ для плазменного травления, используемый в микроэлектронной промышленности. Он широко применяется для травления кремния, диоксида кремния, фосфоросиликатного стекла и других тонкопленочных материалов, очистки поверхности электронных устройств, производства солнечных элементов, лазерной техники, газофазной изоляции, низкотемпературного охлаждения, в качестве реагентов для обнаружения утечек и моющих средств в производстве печатных плат и имеет широкий спектр применения.
Время публикации: 01 ноября 2021 г.
