Что такое углеродтетрафторид? Что такое использование?

Что такоеУглеродный тетрафлюрид? Что такое использование?

Углеродный тетрафлюридтакже известный как тетрафлорометан, рассматривается как неорганическое соединение. Он используется в процессе травления плазмы различных интегрированных цепей, а также используется в качестве лазерного газа и хладагента. Он относительно стабилен при нормальной температуре и давлении, но необходимо избежать контакта с сильными окислителями, легковоспламеняющимися или горючими материалами. Углеродный тетрафлюорид-это некомпимочный газ. Если он столкнется с высоким теплом, это приведет к увеличению внутреннего давления контейнера, и существует опасность растрескивания и взрыва. Обычно он может взаимодействовать только с жидким аммиачным реагентом металла-иодиума при комнатной температуре.

Углеродный тетрафлюридв настоящее время является крупнейшим газом травления плазмы, используемым в микроэлектронике. Его можно широко использовать при травлении кремния, диоксида кремния, фосфозиликатного стекла и других тонкопленочных материалов, очищая поверхность электронных устройств, производство солнечных элементов, лазерная технология, газофазная изоляция, низкотемпературные охлаждения, агенты обнаружения утечки и моющие средства в производстве принципиальных цепей имеют большое количество применений.