Что такое тетрафторид углерода? Для чего он нужен?

Что такоететрафторид углеродаВ чём смысл?

тетрафторид углеродаТетрафторметан (также известный как тетрафторметан) считается неорганическим соединением. Он используется в процессе плазменного травления различных интегральных схем, а также в качестве лазерного газа и хладагента. Он относительно стабилен при нормальной температуре и давлении, но необходимо избегать контакта с сильными окислителями, легковоспламеняющимися или горючими материалами. Тетрафторметан — негорючий газ. При воздействии высоких температур он вызывает повышение внутреннего давления в контейнере, что создает опасность растрескивания и взрыва. Обычно он может взаимодействовать только с жидким аммиаком — металлическим реагентом натрия при комнатной температуре.

тетрафторид углеродаВ настоящее время это самый распространенный газ для плазменного травления, используемый в микроэлектронной промышленности. Он может широко применяться для травления кремния, диоксида кремния, фосфосиликатного стекла и других тонкопленочных материалов, очистки поверхности электронных устройств, производства солнечных элементов, лазерных технологий, газофазной изоляции, низкотемпературного охлаждения, в качестве реагента для обнаружения утечек и моющего средства при производстве печатных плат.