СиланеСилан — это соединение кремния и водорода, и это общий термин для ряда соединений. К силанам относятся в основном моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) и некоторые соединения кремния и водорода более высокой степени окисления, имеющие общую формулу SinH2n+2. Однако в реальном производстве мы обычно называем моносилан (химическая формула SiH4) «силаном».

Электронный класссилановый газВ основном его получают путем различных реакций, перегонки и очистки порошка кремния, водорода, тетрахлорида кремния, катализатора и т. д. Силан с чистотой от 3N до 4N называется силаном промышленного класса, а силан с чистотой более 6N — силаном электронного класса.

В качестве источника газа для транспортировки кремниевых компонентов,силановый газМоносилан стал важным специальным газом, который невозможно заменить многими другими источниками кремния из-за его высокой чистоты и возможности точного контроля процесса. Моносилан получает кристаллический кремний посредством реакции пиролиза, которая в настоящее время является одним из методов крупномасштабного производства гранулированного монокристаллического и поликристаллического кремния в мире.

Характеристики силана

Силан (SiH4)Силан — это бесцветный газ, который реагирует с воздухом и вызывает удушье. Его синоним — гидрид кремния. Химическая формула силана — SiH4, и его содержание достигает 99,99%. При комнатной температуре и давлении силан представляет собой токсичный газ с неприятным запахом. Температура плавления силана составляет -185℃, а температура кипения — -112℃. При комнатной температуре силан стабилен, но при нагревании до 400℃ он полностью разлагается на газообразный кремний и водород. Силан легковоспламеняем и взрывоопасен, он взрывообразно горит на воздухе или в галогенах.

Области применения

Силан имеет широкий спектр применения. Помимо того, что он является наиболее эффективным способом прикрепления молекул кремния к поверхности ячейки при производстве солнечных элементов, он также широко используется на производственных предприятиях, таких как заводы по производству полупроводников, плоских дисплеев и стекла с покрытием.

СиланеКремний является источником кремния для процессов химического осаждения из газовой фазы, таких как монокристаллический кремний, поликристаллические эпитаксиальные пластины кремния, диоксид кремния, нитрид кремния и фосфосиликатное стекло в полупроводниковой промышленности, и широко используется в производстве и разработке солнечных элементов, кремниевых барабанов для копировальных аппаратов, фотоэлектрических датчиков, оптических волокон и специального стекла.

В последние годы высокотехнологичные применения силанов продолжают развиваться, включая производство современной керамики, композитных материалов, функциональных материалов, биоматериалов, высокоэнергетических материалов и т. д., становясь основой многих новых технологий, новых материалов и новых устройств.