Тетрафторид углерода (CF4)

Технические параметры

Тетрафторид углерода — это галогенированный углеводород с химической формулой CF4. Его можно рассматривать как галогенированный углеводород, галогенированный метан, перфторуглерод или как неорганическое соединение. Тетрафторид углерода — это бесцветный газ без запаха, нерастворимый в воде, растворимый в бензоле и хлороформе. Он стабилен при нормальной температуре и давлении, следует избегать сильных окислителей, легковоспламеняющихся или горючих материалов. Это негорючий газ, но при воздействии высоких температур внутреннее давление в контейнере повышается, существует опасность растрескивания и взрыва. Он химически стабилен и негорюч. Работать с ним можно только при комнатной температуре с жидким аммиаком и металлическим реагентом натрия. Тетрафторид углерода — это газ, вызывающий парниковый эффект. Он очень стабилен, может долго оставаться в атмосфере и является очень мощным парниковым газом. Тетрафторид углерода используется в процессе плазменного травления различных интегральных схем. Он также используется в качестве лазерного газа, а также в низкотемпературных хладагентах, растворителях, смазочных материалах, изоляционных материалах и охлаждающих жидкостях для инфракрасных детекторов. Это наиболее часто используемый газ для плазменного травления в микроэлектронной промышленности. Он представляет собой смесь высокочистого тетрафторметана и высокочистого кислорода. Широко применяется для травления кремния, диоксида кремния, нитрида кремния и фосфосиликатного стекла. Травление тонкопленочных материалов, таких как вольфрам и другие, также широко используется для очистки поверхностей электронных устройств, производства солнечных элементов, лазерных технологий, низкотемпературного охлаждения, контроля утечек и в качестве моющего средства при производстве печатных плат. Используется в качестве низкотемпературного хладагента и в технологии плазменного сухого травления интегральных схем. Меры предосторожности при хранении: Хранить в прохладном, вентилируемом помещении, предназначенном для негорючих газов. Беречь от огня и источников тепла. Температура хранения не должна превышать 30°C. Хранить его следует отдельно от легковоспламеняющихся веществ и окислителей, избегая смешанного хранения. Место хранения должно быть оборудовано средствами для аварийного устранения утечек.

Приложение:

① Хладагент:

Тетрафторметан иногда используется в качестве низкотемпературного хладагента.

② Травление:

В микропроизводстве электроники он используется как отдельно, так и в сочетании с кислородом в качестве плазменного травителя для кремния, диоксида кремния и нитрида кремния.

Обычная упаковка:

Преимущество:

①Высокая чистота, новейшее оборудование;

②Производитель сертификатов ISO;

③Быстрая доставка;

④ Система онлайн-анализа для контроля качества на каждом этапе;

⑤Высокие требования и тщательный процесс обработки баллона перед заправкой;