Тетрафторид углерода (CF4)

Технические параметры

Тетрафторид углерода представляет собой галогенированный углеводород с химической формулой CF4. Его можно рассматривать как галогенированный углеводород, галогенированный метан, перфторуглерод или неорганическое соединение. Тетрафторид углерода — газ без цвета и запаха, нерастворимый в воде, растворимый в бензоле и хлороформе. Стабилен при нормальной температуре и давлении, избегайте сильных окислителей, легковоспламеняющихся или горючих материалов. Негорючий газ, внутреннее давление контейнера увеличивается при воздействии высокой температуры, и существует опасность растрескивания и взрыва. Он химически стабилен и негорюч. Только жидкий аммиачно-металлический реагент может работать при комнатной температуре. Тетрафторид углерода – газ, вызывающий парниковый эффект. Он очень стабилен, может долгое время оставаться в атмосфере и является очень мощным парниковым газом. Тетрафторид углерода используется в процессе плазменного травления различных интегральных схем. Он также используется в качестве лазерного газа и используется в низкотемпературных хладагентах, растворителях, смазочных материалах, изоляционных материалах и охлаждающих жидкостях для инфракрасных детекторов. Это наиболее часто используемый газ плазменного травления в микроэлектронной промышленности. Это смесь газа высокой чистоты тетрафторметана и газа высокой чистоты тетрафторметана и кислорода высокой чистоты. Его можно широко использовать в кремнии, диоксиде кремния, нитриде кремния и фосфоросиликатном стекле. Травление тонкопленочных материалов, таких как вольфрам и вольфрам, также широко используется при очистке поверхности электронных устройств, производстве солнечных батарей, лазерных технологиях, низкотемпературном охлаждении, проверке утечек и моющих средствах при производстве печатных плат. Используется в качестве низкотемпературного хладагента и технологии плазменного сухого травления интегральных схем. Меры предосторожности при хранении: Хранить в прохладном, вентилируемом складе негорючих газов. Хранить вдали от огня и источников тепла. Температура хранения не должна превышать 30°C. Его следует хранить отдельно от легковоспламеняющихся горючих веществ и окислителей, избегая совместного хранения. Помещение для хранения должно быть оборудовано оборудованием для экстренной ликвидации утечек.

Приложение:

① Хладагент:

Тетрафторметан иногда используется в качестве низкотемпературного хладагента.

② Травление:

Он используется в микропроизводстве электроники отдельно или в сочетании с кислородом в качестве плазменного травителя кремния, диоксида кремния и нитрида кремния.

Обычный пакет:

Преимущество:

①Высокая чистота, новейшее оборудование;

②Производитель сертификата ISO;

③Быстрая доставка;

④Система онлайн-анализа для контроля качества на каждом этапе;

⑤Высокие требования и тщательный процесс обращения с баллонами перед наполнением;