Тетрафторид углерода (CF4)

Технические параметры

Четырехфтористый углерод — это галогенированный углеводород с химической формулой CF4. Его можно рассматривать как галогенированный углеводород, галогенированный метан, перфторуглерод или как неорганическое соединение. Четырехфтористый углерод — это бесцветный и не имеющий запаха газ, нерастворимый в воде, растворимый в бензоле и хлороформе. Стабилен при нормальной температуре и давлении, избегайте сильных окислителей, легковоспламеняющихся или горючих материалов. Негорючий газ, внутреннее давление в контейнере увеличится при воздействии высокой температуры, и существует опасность растрескивания и взрыва. Он химически стабилен и негорюч. Только жидкий реагент металлического аммиака и натрия может работать при комнатной температуре. Четырехфтористый углерод — это газ, вызывающий парниковый эффект. Он очень стабилен, может оставаться в атмосфере в течение длительного времени и является очень мощным парниковым газом. Четырехфтористый углерод используется в процессе плазменного травления различных интегральных схем. Он также используется в качестве лазерного газа, в низкотемпературных хладагентах, растворителях, смазочных материалах, изоляционных материалах и охладителях для инфракрасных детекторов. Это наиболее используемый газ для плазменного травления в микроэлектронной промышленности. Он представляет собой смесь тетрафторметана высокой чистоты, тетрафторметана высокой чистоты и кислорода высокой чистоты. Он может широко использоваться в кремнии, диоксиде кремния, нитриде кремния и фосфоросиликатном стекле. Травление тонкопленочных материалов, таких как вольфрам и вольфрам, также широко используется при очистке поверхности электронных устройств, производстве солнечных элементов, лазерной технологии, низкотемпературном охлаждении, проверке на герметичность и в качестве моющего средства в производстве печатных плат. Используется в качестве низкотемпературного хладагента и в технологии сухого плазменного травления для интегральных схем. Меры предосторожности при хранении: хранить в прохладном, проветриваемом складе негорючего газа. Беречь от огня и источников тепла. Температура хранения не должна превышать 30 °C. Хранить его следует отдельно от легковоспламеняющихся (горючих) веществ и окислителей, не допуская их совместного хранения. Место хранения должно быть оборудовано средствами экстренной ликвидации утечек.

Приложение:

① Хладагент:

Тетрафторметан иногда используется в качестве низкотемпературного хладагента.

② Травление:

Он используется в микропроизводстве электроники самостоятельно или в сочетании с кислородом в качестве плазменного травителя для кремния, диоксида кремния и нитрида кремния.

Обычный пакет:

Преимущество:

①Высокая чистота, новейшее оборудование;

②Сертификат производителя ISO;

③Быстрая доставка;

④Система онлайн-анализа для контроля качества на каждом этапе;

⑤Высокие требования и тщательный процесс обработки баллона перед наполнением;