Силан (SiH4)

Технические параметры

Силан — это соединение кремния и водорода. Это общее название для ряда соединений, включая моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) и некоторые более сложные кремний-водородные соединения. Среди них наиболее распространен моносилан, иногда его сокращенно называют силаном. Силан — бесцветный газ с отвратительным запахом чеснока. Растворим в воде, практически нерастворим в этаноле, эфире, бензоле, хлороформе, хлороформе кремния и тетрахлориде кремния. Химические свойства силанов гораздо более активны, чем у алканов, и они легко окисляются. При контакте с воздухом может происходить самовозгорание. Он не реагирует с азотом при температуре ниже 25 °C и не реагирует с углеводородными соединениями при комнатной температуре. Пожар и взрыв силана являются результатом реакции с кислородом. Силан чрезвычайно чувствителен к кислороду и воздуху. Силан при определенной концентрации также будет взрывоопасно реагировать с кислородом при температуре -180 °C. Силан стал важнейшим специальным газом, используемым в процессах полупроводниковой микроэлектроники, и используется для получения различных микроэлектронных пленок, включая монокристаллические пленки, микрокристаллические, поликристаллические, оксид кремния, нитрид кремния и силициды металлов. Применения силана в микроэлектронике все еще углубленно развиваются: низкотемпературная эпитаксия, селективная эпитаксия и гетероэпитаксиальная эпитаксия. Не только для кремниевых приборов и кремниевых интегральных схем, но и для полупроводниковых приборов на основе соединений (арсенид галлия, карбид кремния и т. д.). Он также находит применение при получении материалов с квантовыми ямами сверхрешеток. Можно сказать, что в настоящее время силан используется практически на всех передовых линиях производства интегральных схем. Применение силана в качестве кремнийсодержащих пленок и покрытий расширилось от традиционной микроэлектронной промышленности до различных областей, таких как сталелитейная промышленность, машиностроение, химическая промышленность и оптика. Еще одним потенциальным применением силана является производство высокопроизводительных керамических деталей двигателей, в частности, все большее внимание привлекает технология производства микропорошков силицидов (Si3N4, SiC и т. д.) с использованием силана.

Приложение:

①Электронный:

Силан наносится на слои поликристаллического кремния на кремниевых пластинах при производстве полупроводников и герметиков.

②Солнечная энергия:

Силан используется в производстве солнечных фотоэлектрических модулей.

③Промышленность:

Используется в энергосберегающем зеленом стекле и применяется в процессе осаждения тонких пленок из паровой фазы.

Обычный пакет:

Преимущество:

①Более десяти лет на рынке;

②Сертификат производителя ISO;

③Быстрая доставка;

④Стабильный источник сырья;

⑤Система онлайн-анализа для контроля качества на каждом этапе;

⑥Высокие требования и тщательный процесс обработки баллона перед наполнением;

⑦Чистота: высокая чистота электронного класса;

⑧Применение: материалы для солнечных элементов; производство поликремния высокой чистоты, оксида кремния и оптического волокна; производство цветного стекла.