Силан (SiH4)

Технические параметры

Силан – это соединение кремния и водорода. Это общий термин для ряда соединений, включая моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) и некоторые кремний-водородные соединения более высокого уровня. Среди них наиболее распространенным является моносилан, иногда сокращенно называемый силаном. Силан — бесцветный газ с отвратительным запахом чеснока. Растворим в воде, почти нерастворим в этаноле, эфире, бензоле, хлороформе, хлороформе кремния и тетрахлориде кремния. По химическим свойствам силаны значительно активнее алканов и легко окисляются. Самовозгорание может произойти при контакте с воздухом. Не реагирует с азотом при температуре ниже 25°C и не реагирует с углеводородными соединениями при комнатной температуре. Пожар и взрыв силана являются результатом реакции с кислородом. Силан чрезвычайно чувствителен к кислороду и воздуху. Силан определенной концентрации также будет бурно реагировать с кислородом при температуре -180°С. Силан стал наиболее важным специальным газом, используемым в процессах полупроводниковой микроэлектроники, и используется при получении различных микроэлектронных пленок, включая монокристаллические, микрокристаллические, поликристаллические, оксид кремния, нитрид кремния и силициды металлов. Микроэлектронные применения силана продолжают развиваться: низкотемпературная эпитаксия, селективная эпитаксия и гетероэпитаксиальная эпитаксия. Не только для кремниевых приборов и кремниевых интегральных схем, но и для составных полупроводниковых приборов (арсенид галлия, карбид кремния и т. д.). Он также находит применение при приготовлении сверхрешеточных материалов с квантовыми ямами. Можно сказать, что в наше время силан используется практически на всех современных линиях по производству интегральных схем. Применение силана в качестве кремнийсодержащих пленок и покрытий распространилось от традиционной микроэлектронной промышленности до различных областей, таких как сталелитейная, машиностроительная, химическая и оптическая промышленность. Еще одним потенциальным применением силана является производство высокопроизводительных керамических деталей двигателей, особенно использование силана для производства силицидной (Si3N4, SiC и т. д.) технологии микропорошков привлекает все больше и больше внимания.

Приложение:

①Электронный:

Силан наносится на слои поликристаллического кремния на кремниевых пластинах при производстве полупроводников и герметиков.

②Солнечная:

Силан используется при производстве солнечных фотоэлектрических модулей.

③Промышленность:

Он используется в энергосберегающем зеленом стекле и применяется для процесса осаждения тонких пленок из паровой фазы.

Обычный пакет:

Преимущество:

①Более десяти лет на рынке;

②Производитель сертификата ISO;

③Быстрая доставка;

④Стабильный источник сырья;

⑤Система онлайн-анализа для контроля качества на каждом этапе;

⑥Высокие требования и тщательный процесс обращения с баллонами перед наполнением;

⑦Чистота: электронный класс высокой чистоты;

⑧Использование: материалы солнечных батарей; производство поликремния высокой чистоты, оксида кремния и оптического волокна; Производство цветного стекла.